應用范圍:OTF-1200X-II-4CV-PE-SL 是一款滑動式雙溫區PECVD 管式爐系統。該系統包含500W等離子源, 80Dx1600L mm 滑動式雙溫區管式爐, 4通道質量流量供氣系統和機械泵機組,這款 PECVD系統可用于生長納米或石墨烯。
產品型號 :OTF-1200X-II-4CV-PE-SL
上架時間 :2019-07-04
安裝尺寸:爐體: 550 x 380 x 520 mm
滑軌: 1750 mm 長
移動架: 1200 x 1200 x 600mm
重量 :220 Lbs
OTF-1200X-II-4CV-PE-SL 是一款滑動式雙溫區PECVD 管式爐系統。該系統包含500W等離子源, 80Dx1600L mm 滑動式雙溫區管式爐, 4通道質量流量供氣系統和機械泵機組,這款 PECVD系統可用于生長納米或石墨烯。
| 性能指標和基本配置 | |
|---|---|
| 設備型號 |
OTF-1200X-50-II-4CV-PE-SL-UL OTF-1200X-80-II-4CV-PE-SL-UL OTF-1200X-130-III-4CV-PE-SL-UL |
| 爐管尺寸 |
2" (50mm) OD x 1.7" ID x 71" L 3.14" (80mm) OD x 2.83" ID x 71'' L 5" (130mm) OD x 4.8" ID x 84'' L |
| 產品特點 |
●與傳統的CVD相比,只需較低的制備溫度 |
| 等離子發射源 |
● 輸出功率:5 -500W ± 1% . |
| 真空泵機組 |
● 我公司有多種真空泵可選,請點擊圖片,或是致電我公司銷售。 |
| 質量流量計 |
四個精密的質量流量計(精度0.02% ) : |
| 控溫軟件 |
● 計算機可以通過控溫軟件控制爐子:RS485 接口和軟件是免費的,但需要購買數據線和一個控制模塊 |
| 外形尺寸 |
● 爐體: 550 x 380 x 520 mm |
| 重量 |
● 凈重: 220 Lbs. |
| 開門斷電 | |
| 應用注意事項 |
●爐管內氣壓不可高于0.02MPa ●由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 ●當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態 ●進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 ●石英管的長時間使用溫度<1100℃ ●對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐管破裂,法蘭飛出等) |
| 國家專利 |
專利名稱:可組合式等離子增強化學氣相沉積裝置 |
| 質量認證 |
所有電器元件(>24V)都通過UL?/?MET?/?CSA認證/ CE認證,若客戶出認證費用,本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證 |
| 保修期 |
一年保修,終身技術支持。 特別提示: 1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 點擊查看售后服務承諾書。 |
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